000级大理石平台是目前精度最高的一种，但是用量不是太大。其精度主要与规格有一定的关系。
大理石平台的精度参照先进国家标准，平面度公差：GB4987-85标准：000级=1×(1+d/1000)um 00级=2×(1+d/1000)um、0级=4×(1+d/1000)um、1级=8×(1+d/1000)um、(d为对角线mm)(测量温度一般在20±2℃。
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规格
长×宽×厚
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重量kg
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000级精度
μm
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00级精度
μm
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0级精度
μm
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1级精度
μm
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300×300×50
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19
|
1.5
|
3
|
6
|
12
|
|
400×300×70
|
25
|
1.5
|
3
|
6
|
12
|
|
400×400×70
|
48
|
2
|
3.5
|
6.5
|
13
|
|
630×400×100
|
76
|
2
|
3.5
|
7
|
14
|
|
630×630×100
|
155
|
2
|
4
|
8
|
16
|
|
800×600×100
|
156
|
2
|
4
|
8
|
16
|
|
1000×630×130
|
284
|
2.5
|
4.5
|
9
|
18
|
|
1000×750×150
|
338
|
2.5
|
5
|
9
|
18
|
|
1000×1000×150
|
450
|
2.5
|
5
|
10
|
20
|
|
1600×100×0200
|
963
|
3
|
6
|
12
|
24
|
|
2000×1000×200
|
1200
|
3.5
|
6.5
|
13
|
26
|
|
1600×1600×300
|
2312
|
3.5
|
6.5
|
13
|
26
|
|
2000×1600×300
|
2890
|
3.5
|
7
|
14
|
28
|
|
2500×1600×300
|
3612
|
4
|
8
|
16
|
32
|
|
3000×2000×500
|
9030
|
4.5
|
9
|
18
|
36
|
|
4000×2000×500
|
12040
|
5.5
|
11
|
22
|
44
|
|
6000×2000×700
|
25284
|
7.5
|
15
|
30
|
60
|
